Olympus 3D測量激光顯微鏡OLS5000

 奧林巴斯OLYMPUS 3D測量激光顯微鏡OLS5000

Olympus 3D測量激光顯微鏡OLS5000作為3D測量顯微鏡有著(zhù)更真實(shí)的三維形貌反映能力，具有操作更便捷、更快速的優(yōu)勢。OLS5000采用計算機直觀(guān)控制，搭載的掃描算法，可通過(guò)計算機的處理轉換，快速獲得完整帶有高度信息的樣品表面圖像，并通過(guò)對樣品不同層面的掃描和計算機處理。在使用時(shí)，只要在放置樣品后按動(dòng)按鈕，設備就會(huì )自動(dòng)進(jìn)行工作，無(wú)需進(jìn)行復雜的設置調整，即使是不熟練的用戶(hù)也可獲準確的檢測結果，簡(jiǎn)化工作流程。 　　

一直以來(lái)，奧林巴斯致力于滿(mǎn)足各領(lǐng)域用戶(hù)的多樣需求，不斷行業(yè)發(fā)展趨勢，通過(guò)不斷研發(fā)新產(chǎn)品，順應市場(chǎng)變化，在工業(yè)顯微鏡領(lǐng)域始終保持著(zhù)技術(shù)優(yōu)勢。3D測量激光顯微鏡在已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù)?！　?/span>

隨著(zhù)物聯(lián)網(wǎng)、云科技、新能源汽車(chē)的發(fā)展需求，中國半導體產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展。針對這一趨勢，奧林巴斯陸續推出BX系列、STM系列、MX系列產(chǎn)品，與這次發(fā)布會(huì )的激光顯微鏡構成了針對半導體前后道檢測市場(chǎng)的較為完善的產(chǎn)品線(xiàn)。Olympus 3D測量激光顯微鏡OLS5000目標市場(chǎng)從研發(fā)、質(zhì)檢為主的研究級擴展到涵蓋生產(chǎn)線(xiàn)的制造級市場(chǎng)。從行業(yè)應用方向來(lái)說(shuō)，半導體/電子、機械重工設備、石油質(zhì)地都是該產(chǎn)品目標市場(chǎng)。同時(shí)，新產(chǎn)品在汽車(chē)行業(yè)還會(huì )有更多突破。

激光共聚焦掃描顯微鏡的發(fā)展在國外是從80年代末期開(kāi)始的，目前在日本，已經(jīng)是一種被廣泛采用的技術(shù)，既用來(lái)觀(guān)察樣品表面亞μm程度(0.2μm)的三維形態(tài)和形貌，又可以測量多種微小的尺寸，諸如體積、面積、晶粒、膜厚、深度、長(cháng)寬、線(xiàn)粗糙度、面粗糙度等。
 

LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統（彩色成像光學(xué)系統和激光共焦光學(xué)系統）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
 

[獲取彩色信息] 
彩色成像光學(xué)系統使用利用白光LED光源和CMOS相機獲取彩色信息。
 

[獲取 3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規則性。

[405納米激光光源]

光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著(zhù)波長(cháng)的減小而獲得提升。采用短波長(cháng)激光的激光顯微鏡相比采用可見(jiàn)光（峰值550納米）的傳統顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長(cháng)激光二極管獲得的橫向分辨率。

[激光共焦光學(xué)系統]

激光共焦光學(xué)系統僅接收通過(guò)圓形針孔聚焦的光線(xiàn)，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線(xiàn)。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像。

[X-Y掃描儀]
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過(guò)將采用電磁感應MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠實(shí)現具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。

[高度測量原理]

在測量高度時(shí)，顯微鏡通過(guò)自動(dòng)移動(dòng)焦點(diǎn)位置獲取多個(gè)共焦圖像。
根據非連續的焦點(diǎn)位置（Z）和檢測光強度（I）可以估算每個(gè)像素的光強變化曲線(xiàn)（I-Z曲線(xiàn)），并獲得其峰值位置和峰值強度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規則性相對應，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類(lèi)似，通過(guò)峰值強度數據可以獲得針對樣品表面所有位置焦點(diǎn)的圖像（擴展圖像）。

型號規格