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NanoSystem NVM-6000P表面形貌測量系統

簡(jiǎn)要描述:NanoSystem NVM-6000P表面形貌測量系統測為L(cháng)CD、IC Package、Substrate、Build-up PCB、MEMS,Engineering Surfaces等領(lǐng)域提供納米級別精度的測l。NVM-6000P是型設備,用于基板表面形貌的測量。 基板上的Via Hole,Pad形狀,Pattern形貌和表面形貌等11個(gè)項目可以進(jìn)行自動(dòng)測量。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2020-10-31
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3833

詳細介紹

品牌其他品牌價(jià)格區間面議
產(chǎn)品種類(lèi)非接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應用領(lǐng)域能源,電子,汽車(chē),電氣

NanoSystem NVM-6000P表面形貌測量系統

 

產(chǎn)品描述

NanoSystem NVM-6000P表面形貌測量系統是型設備,用于基板表面形貌的測量。

基板上的Via Hole,Pad形狀,pattem形貌和表面形貌等11個(gè)項目可以進(jìn)行自動(dòng)測量。

在高速測量下仍具有優(yōu)良的重復性和準確性,支持用戶(hù)設定測量條件和測量數據自動(dòng)保存及分析功能。

 

產(chǎn)品規格

掃描范圍:0-180um(270um可選)

垂直分辨率:WSI:﹤0.5nm 

臺階高度重復性:﹤0.5%(1σ)

橫向分辨率:0.2-4um(取決于物鏡和FOV)

工作臺面:510X405mm(程控)

尺寸:1200(w)X1250(D)X1900(H)

 

應用領(lǐng)域

Nano View系列為L(cháng)CD(液晶顯示器)、IC Package(芯片封裝)、Substrate(基板)、Build-up PCB(積層板)、MEMS(微機電系統),Engineering Surfaces(工程表面)等等領(lǐng)域提供納米級別精度的量測。包括:PostSpacer,RGB,Charater,Back Pannel,Spray PR,Roughness,VIA hole,Cu Thickness,Cu Pad,Line Profile,Fiber,Array,Semiconductor,MENS,Abraslon,BGA.

 

 

ISO 25178 · 4287 規格標準化數據

按照ISO標準機構規定的規格,以圖表、表格、2D•3D圖像的形式大面積顯示粗糙度、高度及幅度等各類(lèi)數據。

 

圖形的粗糙度評價(jià)Roughness evaluation of images

Nano System利用從ISO、ASME、EUR等多家標準機構獲得的30多個(gè)粗糙度參數來(lái)評估Sample的粗糙度。

 

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