簡(jiǎn)要描述:Radiant薄膜橫向壓電系數e31測試裝置可精確地確定壓電薄膜系數e31、d31和e33,重新加載一致性達到2%。
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Radiant薄膜橫向壓電系數e31測試裝置采用懸臂梁法,結合Radiant Precision系統可精確地確定壓電薄膜系數e31、d31和e33,重新加載一致性達到2%。
Radiant的懸臂梁法測薄膜橫向壓電系數e31測試裝置可測量懸臂上沉積的壓電薄膜的系數。通過(guò)向壓電薄膜施加電壓使基材向不同方向彎曲。由配置的光電傳感器捕獲懸臂頂端的運動(dòng),該測試模組可容納72mm和43mm懸臂。
Radiant薄膜橫向壓電系數e31測試裝置和Radiant Precision測試系統可以進(jìn)行三種類(lèi)型的測量。
1)確定懸臂梁的針尖位移作關(guān)于電壓的函數
2)可以執行的第二種類(lèi)型的測試是直接d31測量,這是通過(guò)懸臂梁施加力記錄壓電電容器的電荷量實(shí)現。
3)如果使用叉指電極,則測量e33
準確性
可復制到1%,卸載和重新加載準確度達2%。
可重復性
重新加載相同樣本時(shí)沒(méi)有差異。
操作簡(jiǎn)單
無(wú)須復雜調試,操作簡(jiǎn)單
多功能
薄膜或散裝、生產(chǎn)或研究。
靈活
薄膜壓電測試束將適應
各種樣本幾何圖形。
薄膜壓電測試模組的測量包括但不限于下列測試:
e31、d31、e33與厚度
位移與電壓
壓電疲勞
壓電老化
成分比較
過(guò)程監控
多重繪制和平均
薄膜壓電測試套件包括:
l 薄膜壓電測試夾具
特殊設計的薄膜測試夾具
l 壓電位移傳感器
Radiant的壓電光子技術(shù)規格:
測量范圍6mm,精度1微米。
壓電位移傳感器模擬輸出校準為5微米/V(或=0.2V/微米)。
當壓電位移傳感器模擬輸出連接到Radiant Precision測量系統的傳感器端口后,輸出電壓由ADC測量,其分辨率為0.3mV/步。
l *的壓電軟件
*的壓電軟件對壓電薄膜或壓電MEMS自動(dòng)執行測試并提供清晰的位移結果;
測量軟件可以配置為不同的測量值,只需按一下按鈕即可生成多個(gè)繪圖。
可以對測試臺進(jìn)行多次測量以修正漂移值,然后平均/平滑測量值,以糾正過(guò)高和過(guò)低頻噪聲。
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